Alarm系統(tǒng)通過對(duì)設(shè)備的報(bào)警信息進(jìn)行記錄分析,并根據(jù)設(shè)定的Alarm頻率觸發(fā)規(guī)則,Repeat Alarm觸發(fā)Hold Equipment、Hold Lot及操作,同時(shí)可通過E-mail/短信等方式及時(shí)提醒。Alarm系統(tǒng)還可以監(jiān)控設(shè)備報(bào)警數(shù)據(jù),做到提前預(yù)警、及時(shí)檢修,提高設(shè)備利用率;
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